3月31日，在沈陽芯源微電子有限公司工藝調(diào)試車間，34歲的女軟件工程師康寧正與同事們?nèi)褙炞⒌卣{(diào)試2、4、6寸晶圓勻膠顯影設(shè)備。在兼容兩種尺寸的同類設(shè)備中，他們積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，但兼容三種尺寸還是頭一次遇到。康寧整整花了1小時(shí)調(diào)試好軟件程序，用3個(gè)多小時(shí)觀察設(shè)備運(yùn)行，直到設(shè)備運(yùn)行良好穩(wěn)定。
康寧負(fù)責(zé)調(diào)試的勻膠顯影設(shè)備是為武漢一家上市企業(yè)研制的，在芯源公司研發(fā)的一系列高科技產(chǎn)品中，屬于中小型設(shè)備。沈陽芯源公司總經(jīng)理宗潤福指著一個(gè)罩在藍(lán)色保護(hù)膜里面的“大家伙”告訴記者，這是一臺(tái)12寸的大型勻膠顯影設(shè)備，目前，國外只有兩個(gè)廠家能夠生產(chǎn)同類產(chǎn)品，要價(jià)高達(dá)500萬美元。為了啃這塊“硬骨頭”，沈陽芯源公司聘請世界頂級(jí)專家組成一流的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，經(jīng)過一年多的攻關(guān)，這個(gè)國家重大科技專項(xiàng)工程產(chǎn)品即將取得實(shí)質(zhì)性突破。而且產(chǎn)品問世后，售價(jià)只有400萬美元。
沈陽芯源公司成立于2002年，是由中科院沈陽自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)辦的國家重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)，主要從事集成電路高端裝備的研發(fā)、制造、銷售與技術(shù)服務(wù)。集成電路高端裝備號(hào)稱行業(yè)的“印鈔機(jī)”，但長期以來一直由國外企業(yè)一統(tǒng)天下。由于國外設(shè)備造價(jià)高、服務(wù)費(fèi)用高，使我國客戶不堪重負(fù)。沈陽芯源的技術(shù)攻關(guān)也就是在這樣的大背景下展開的。
沈陽芯源，這個(gè)僅有150多名員工的小型企業(yè)，卻成功打破了國外產(chǎn)品在中國市場的壟斷。他們依靠與市場互動(dòng)的科技研發(fā)機(jī)制，在消化吸收國外先進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上，先后取得160多項(xiàng)技術(shù)專利，自主研制的主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備廣泛應(yīng)用于LED、高端封裝等領(lǐng)域，勻膠顯影技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平，成功替代了進(jìn)口產(chǎn)品。沈陽芯源實(shí)現(xiàn)集成電路設(shè)備核心部件國產(chǎn)化，也搶占了我國集成電路高端裝備研發(fā)制造的制高點(diǎn)。他們研制的12寸噴涂設(shè)備一舉填補(bǔ)了國內(nèi)空白，獲得2012年國家戰(zhàn)略性創(chuàng)新產(chǎn)品獎(jiǎng)；其研發(fā)生產(chǎn)的LED產(chǎn)品占國內(nèi)市場份額的40%，不僅改變了國外大公司壟斷中國市場的局面，而且憑借低成本、高性能的優(yōu)勢銷往臺(tái)灣市場。
這樣的創(chuàng)新成果，來之不易！企業(yè)每年研發(fā)投入超過銷售額的15%。為了調(diào)動(dòng)科技人員的積極性，沈陽芯源讓核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)成員擁有公司股權(quán)，工程師的收入普遍高于管理干部的收入，為科研人員發(fā)揮才能創(chuàng)造了良好條件。
依靠科技創(chuàng)新，沈陽芯源經(jīng)濟(jì)效益連續(xù)3年保持50%以上的速度增長，成為中國集成電路高端裝備制造業(yè)的領(lǐng)跑者。 □本報(bào)記者/孫萬科
