中國(guó)科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所持股公司——沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司（以下簡(jiǎn)稱芯源公司）連續(xù)完成國(guó)家“十一五”、“十二五”02重大專項(xiàng)任務(wù)，產(chǎn)業(yè)化成果顯著，高端封裝專用涂膠顯影設(shè)備和LED涂膠顯影設(shè)備國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超過50%，成為國(guó)內(nèi)客戶的主流首選設(shè)備。近日芯源公司又傳來捷報(bào)，截至2016年6月30日，批量銷往臺(tái)灣國(guó)際一線大廠的12寸晶圓級(jí)封裝設(shè)備全部通過驗(yàn)收。
2015年第四季度，芯源公司通過了臺(tái)灣大客戶的嚴(yán)苛評(píng)估，一次性拿到20多臺(tái)的12寸晶圓級(jí)封裝設(shè)備訂單。2016年1月至4月，芯源公司按臺(tái)灣客戶進(jìn)度要求分批出貨到現(xiàn)場(chǎng)，分批安裝調(diào)試。目前，設(shè)備陸續(xù)驗(yàn)收后已全部投入批量生產(chǎn)。
芯源公司提供給臺(tái)灣大客戶的批量設(shè)備采用雙機(jī)械手4腔堆疊式結(jié)構(gòu)，占地小、產(chǎn)能高，能適應(yīng)多種光刻膠的涂覆、烘焙和顯影。設(shè)備用于Fan Out晶圓級(jí)封裝工藝生產(chǎn)線。
芯源公司設(shè)備在與國(guó)際大公司的激烈競(jìng)爭(zhēng)中脫穎而出，拿到國(guó)際一線大廠的批量訂單并按期交付，通過了臺(tái)灣大客戶的考核，全部順利驗(yàn)收，這極大地提升了芯源公司的批量生產(chǎn)能力、供應(yīng)鏈建設(shè)、工藝應(yīng)用、質(zhì)量控制、批量設(shè)備一致性、穩(wěn)定性和售后服務(wù)響應(yīng)能力，帶動(dòng)了企業(yè)快速成長(zhǎng)、提升了企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力。這些進(jìn)展是02科技重大專項(xiàng)持續(xù)支持取得的成效，也是國(guó)產(chǎn)IC裝備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中令人振奮的重大突破。（芯源公司）
